公告摘要：
北航集成电路科学与工程学院光刻版采购公告
1. （1）采购货物有关信息 设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品 设备或材料名称：光刻版； 参数及数量 光刻版参数 掩模版投影 掩模型号 I-line保护膜 CD设计线宽 线宽精度（μm） 线宽均值偏差（μm） 对准偏......
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北航集成电路科学与工程学院光刻版采购公告
1. （1）采购货物有关信息 设备或材料名称/参数/数量/交货期/交货地点/是否接受进口产品 设备或材料名称：光刻版； 参数及数量 光刻版参数 掩模版投影 掩模型号 I-line保护膜 CD设计线宽 线宽精度（μm） 线宽均值偏差（μm） 对准偏......
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