12英寸非接触式光刻机-公开招标公告

招标公告上海市 2025-05-13

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公告摘要：

12英寸非接触式光刻机-公开招标公告
1. 招标条件本招标项目12英寸非接触式光刻机招标人为中国科学院上海技术物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对12英寸非接触式光刻机进行国内公开招标。 2. 项目概况与招标范围 2.1 招标编号：ZKX2025......

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