公告摘要：
含氟尾气处理模组招标公告(2025-YKZNKX-W8816)
一、项目名称：含氟尾气处理模组 二、项目编号：2025-YKZNKX-W8816 三、项目概况： 1 技术服务要求 设备名称 规格参数 计量单位 数量 备注 含氟尾气处理模组 1.能处理 CF4,SF6，CHF3等刻蚀机排出的尾......
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含氟尾气处理模组招标公告(2025-YKZNKX-W8816)
一、项目名称：含氟尾气处理模组 二、项目编号：2025-YKZNKX-W8816 三、项目概况： 1 技术服务要求 设备名称 规格参数 计量单位 数量 备注 含氟尾气处理模组 1.能处理 CF4,SF6，CHF3等刻蚀机排出的尾......
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