极紫外光源放电电极套件采购公告

招标公告上海市 2025-09-22

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公告摘要：

极紫外光源放电电极套件采购公告
项目编号：XC25000253 根据《上海大学采购管理办法（试行）》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》，上海大学微电子学院因教学、科研需要，现以上大迅采方式采购极紫外光源放电电极套件。【迅采公告特别提示】 1、自2024年1月1日起签署的成交合同需采用采购方提供的......

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