公告摘要：
科学技术部zycgr22011903单一来源采购步进扫描式光刻机征求意见公示
科学技术部申请zycgr22011903步进扫描式光刻机 采购项目采用单一来源方式采购，项目预算金额 11300.000000 万元（人民币），该项目拟由名称：上海微电子装备（集团）股份有限公司，地址：上海市张江高科技园......
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科学技术部zycgr22011903单一来源采购步进扫描式光刻机征求意见公示
科学技术部申请zycgr22011903步进扫描式光刻机 采购项目采用单一来源方式采购，项目预算金额 11300.000000 万元（人民币），该项目拟由名称：上海微电子装备（集团）股份有限公司，地址：上海市张江高科技园......
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