氮化硅/硅光波导刻蚀机项目公告

招标公告 2026-01-19

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正文内容

公告摘要：

氮化硅/硅光波导刻蚀机项目公告
1. 招标条件本招标项目氮化硅/硅光波导刻蚀机招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，招标项目资金已落实。该项目已具备招标条件，现对氮化硅/硅光波导刻蚀机采购进行国内公开招标。2. 项目概况与招标范围 2.1 招标编号：ZKX20260341A008 2.......

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