公告摘要:
12英寸集成电路用特色工艺大硅片产线生产效率提升项目-2台双面抛光机招标
设备产能 产能≥ 9000pcs/M 硬件配置 1 盘面满足放置12寸硅片,每run可加工15pcs需求 2 设备配置2台水冷机,满足上下盘温度调控需求 3 设备主操作部需配置操作屏 4 供液管路配置电子流量计 ......
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公告摘要:
12英寸集成电路用特色工艺大硅片产线生产效率提升项目-2台双面抛光机招标
设备产能 产能≥ 9000pcs/M 硬件配置 1 盘面满足放置12寸硅片,每run可加工15pcs需求 2 设备配置2台水冷机,满足上下盘温度调控需求 3 设备主操作部需配置操作屏 4 供液管路配置电子流量计 ......
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