公告摘要：
12英寸集成电路用特色工艺大硅片产线生产效率提升项目-1台最终抛光机招标
设备产能 产能≥ 16000pcs/M 硬件配置 1 盘面满足放置12寸硅片，每run可加工2pcs需求 2 设备配置冰机、高压泵 3 设备主操作部需配置操作屏 4 供液管路配置电子流量计 5 流量、温度、电......
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12英寸集成电路用特色工艺大硅片产线生产效率提升项目-1台最终抛光机招标
设备产能 产能≥ 16000pcs/M 硬件配置 1 盘面满足放置12寸硅片，每run可加工2pcs需求 2 设备配置冰机、高压泵 3 设备主操作部需配置操作屏 4 供液管路配置电子流量计 5 流量、温度、电......
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