多介质工艺气体气源组件询价采购信息公开

招标公告浙江省 2026-05-08

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公告摘要：

多介质工艺气体气源组件询价采购信息公开
1.项目名称/货物名称：多介质工艺气体气源组件 2.预算金额：95200元 3.主要技术指标/性能要求：多介质工艺气体气源组件，包含正压气源和负压真空泵：（1）正压气源：包含He、Ar、N2、CO2四种半导体工艺气体，采用8L/40L标准气瓶；（2）真空......

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