润新微电子外延氨气气体纯化器设备征集

招标公告 2026-07-28

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公告摘要：

润新微电子外延氨气气体纯化器设备征集
关于公开征集外延氨气气体纯化器设备的公告一、项目背景为严控外延制程微污染、稳定外延片品质、提升良率与产品可靠性，保障订单交付，夯实第三代半导体供应链自主可控基础，我司计划引入一台外延专用氨气气体纯化器，用于外延工序工艺气体深度纯化，全面优化前端供气洁净体系。现......

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