CMP设备配套耗材单一来源采购公示

招标公告浙江省 2026-08-13

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公告摘要：

CMP设备配套耗材单一来源采购公示
一、采购人：西湖大学光电研究院二、项目名称：CMP设备配套耗材三、采购内容：清洗毛刷（含PVA Brushamp;Disc Brush) 四、成交金额：61562.00元五、单一来源的说明：为保障CMP设备晶圆与抛光垫清洗工艺的稳定性，避免因毛刷选型不匹配导......

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