中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目延期公告

变更公告北京市 2025-08-22

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公告摘要：

中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目延期公告
一、项目基本情况原公告的采购项目编号：OITC-G250570457　　　　　　原公告的采购项目名称：中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目公开招标公告　　　　　　首次公告日期：202......

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