极紫外光源放电电极套件终止公告

变更公告上海市 2025-09-01

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公告摘要：

极紫外光源放电电极套件终止公告
1、项目概况：（1）项目名称：极紫外光源放电电极套件（2）项目编号：XC25000232 （3）需求二级单位：微电子学院（4）预算金额：40.00万元（5）申请人：凌晓（6）联系方式：19946257717 （7）原迅采公告及报价响应开始时间：2025/08/......

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