公告摘要:
“300mm晶圆平坦度测量、电子束关键尺寸测量设备及其核心零部件的研发及产业化”项目中期审计采购项目采购计划<[440001-2026-05516]>
一、采购人: 广东省科学院半导体研究所 二、采购计划编号: 440001-2026-05516 三、采购计划名称: “300m......
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“300mm晶圆平坦度测量、电子束关键尺寸测量设备及其核心零部件的研发及产业化”项目中期审计采购项目采购计划<[440001-2026-05516]>
一、采购人: 广东省科学院半导体研究所 二、采购计划编号: 440001-2026-05516 三、采购计划名称: “300m......
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