电动滑台及控制器需求量:1.0套型号/件号:"高精度线性位移位移平台，数量1台，规格：13mm行程，最小位移精度：6nm，驱动力：7N，最大速度：8mm/s，线性度：2微米，具有防蠕动系统的交叉滚珠轴承，工作温度范围：0-50℃，含配套控制器和电缆1套";规格:详见附件

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