光谱共焦测头需求量:1.0套型号/件号:·;技术标准号:具备以下功能：可兼容三坐标测量软件；测量范围1-2mm；工作距离：3-8mm；Z轴分辨率：2nm；光斑直径：10μm；横向分辨率：5μm；线性精度：100nm，重复精度：30nm，数值孔径：0.24

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