开发扫描振镜应用验证与工艺验证的控制功能邀请-型号/件号:①扫描振镜重复定位精度（RMS）：＜15μrad，增益误差：≤55ppm/K；②扫描振镜可实现动态定位激光束、软件监控、光学工艺监控；③控制软件可进行样品定位、激光功率衰减、监测显示及快门开关；④控制软件同时支持定位平台与振镜

其他公告北京市 2026-07-31

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公告摘要：

开发扫描振镜应用验证与工艺验证的控制功能邀请-型号/件号:①扫描振镜重复定位精度（RMS）：＜15μrad，增益误差：≤55ppm/K；②扫描振镜可实现动态定位激光束、软件监控、光学工艺监控；③控制软件可进行样品定位、激光功率衰减、监测显示及快门开关；④控制软件同时支持定位平台与振镜
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