RigStar全芯智造光刻精确仿真软件V1.0项目采购信息公开（服务类）

中标公告广东省深圳市 2025-10-13

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公告摘要：

RigStar全芯智造光刻精确仿真软件V1.0项目采购信息公开（服务类）
一、采购单位：机电与控制工程学院二、项目名称：RigStar 全芯智造光刻精确仿真软件V1.0 三、公开信息： 1.服务内容：RigStar是全芯智造自主研发的对标S-litho的光刻工艺精确仿真软件。提供软件的使用权 2.服......

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