中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统评标结果公示公告(1)

中标公告上海市 2025-12-19

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公告摘要：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统评标结果公示公告(1)
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统招标项目编号：0834-2541SH25A707 招标范围：MEMS晶圆双面对准与光刻系统 1台招标机构：上海中招招标有限公司招标......

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