中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机中标公告

中标公告上海市 2026-01-23

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公告摘要：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机中标公告
一、项目编号：STC25A911（招标文件编号：STC25A911）二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机三、中标（成交）信息供应商名称：深圳市矢量科学仪器有限公司供应商地址：深圳市光明区风凰街道塘尾......

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