面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目评标结果公示公告(1)

中标公告上海市 2026-06-01

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公告摘要：

面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目评标结果公示公告(1)
项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目招标项目编号：0705-264506024005 招标范围：物理气相沉积设备和......

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