微纳光学公共技术服务平台建设项目设备采购（五批次-超低温电感耦合等离子体刻蚀机（ICP-RIE））（第二次）中标结果公告(1)

中标公告四川省 2026-06-12

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公告摘要：

微纳光学公共技术服务平台建设项目设备采购（五批次-超低温电感耦合等离子体刻蚀机（ICP-RIE））（第二次）中标结果公告(1)
项目名称：微纳光学公共技术服务平台建设项目设备采购（五批次-超低温电感耦合等离子体刻蚀机（ICP-RIE））（第二次）项目编号：0664-2640SUMECA14/02 招......

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