公告摘要:
8吋多晶刻蚀设备采购项目中标结果公告(1)
项目名称:8吋多晶刻蚀设备采购项目 项目编号:0722-264YDZB11ZB2/02 招标范围:采购全新8吋多晶刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,以达到去......
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8吋多晶刻蚀设备采购项目中标结果公告(1)
项目名称:8吋多晶刻蚀设备采购项目 项目编号:0722-264YDZB11ZB2/02 招标范围:采购全新8吋多晶刻蚀设备1套,用于8吋线干法刻蚀工序,为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的多晶硅刻蚀工艺。(设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体,以达到去......
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