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ICP干法刻蚀机(第二次)评标结果公示公告(1)

中标公告 浙江省 2026-07-07
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正文内容

公告摘要:

ICP干法刻蚀机(第二次)评标结果公示公告(1)
项目名称:ICP干法刻蚀机(第二次) 招标项目编号:2947-264hs2026g06 招标范围:ICP干法刻蚀机 1套 (含ICP干法刻蚀机配置传送模块、去胶腔、金属刻蚀腔、气源柜、分子泵、干泵、电控系统等1套,具体指标详见技术规格) 招标机构:浙江......

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