公告摘要:
8吋金属有机物化学气相沉积设备采购项目评标结果公示公告(1)
项目名称:8吋金属有机物化学气相沉积设备采购项目 招标项目编号:0722-264YDZB12ZB2/01 招标范围:01包:采购8吋金属有机物化学气相沉积设备1套,用于8吋线接触孔的阻挡层工艺,钛金属沉积于互连沟道的底部和侧壁以充当钨与氧化......
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8吋金属有机物化学气相沉积设备采购项目评标结果公示公告(1)
项目名称:8吋金属有机物化学气相沉积设备采购项目 招标项目编号:0722-264YDZB12ZB2/01 招标范围:01包:采购8吋金属有机物化学气相沉积设备1套,用于8吋线接触孔的阻挡层工艺,钛金属沉积于互连沟道的底部和侧壁以充当钨与氧化......
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